【新闻】国内成功自主研制出首台化学机械抛光设备安阳

发布时间：2020-10-18 14:37:56 阅读：次来源：热风炉厂家

万代中国电子科技集团公司第48所近日成功研制出国内首台具有自主知识产权的、适用于0.25μm器件特征尺寸、6英寸至8英寸晶圆片平坦化工艺要求的化学机械抛光设备。该项目的研制成功，填补了我国IC设备制造业0.25μm／6英寸至8英寸晶圆片平坦化设备的空白。